电子显微镜（Electron Microscope）是一种利用电子束替代可见光进行高分辨率成像的精密仪器，主要分为以下两大类：
1. 扫描电子显微镜（SEM, Scanning Electron Microscope）
原理：通过聚焦的电子束扫描样品表面，接收反射的电子信号（如二次电子、背散射电子）生成图像。
特点：
分辨率高（可达0.4纳米），但通常用于观察表面形貌。
景深大，成像立体感强。
适合观察大块样品（无需超薄切片）。
应用领域：
材料科学（金属、陶瓷、半导体表面分析）。
生物学（昆虫、植物表面结构）。
纳米技术（纳米颗粒、薄膜形貌）。
2. 透射电子显微镜（TEM, Transmission Electron Microscope）
原理：电子束穿透超薄样品（厚度＜100纳米），通过透射电子和衍射信号成像。
特点：
分辨率更高（可达0.05纳米），可观察原子级结构。
需样品极薄（需复杂制样，如超薄切片或离子减薄）。
可分析晶体结构、化学成分（结合EDS或EELS附件）。
应用领域：
材料科学（晶体缺陷、原子排列）。
生物学（细胞超微结构、病毒颗粒）。
化学（纳米材料原子级表征）。
其他衍生类型
扫描透射电镜（STEM）：结合SEM和TEM功能，适合原子级元素分析。
环境扫描电镜（ESEM）：允许样品在低真空或湿润环境中观察（如生物活体）。
聚焦离子束电镜（FIB-SEM）：结合离子束切割和SEM成像，用于三维重构或微加工。
