东莞市中特精密硅片/晶圆磨抛机参考报价
中特精密分为实验室小型金相硅片试样磨抛机(研发 / 检测用,处理小片硅片、晶元)、工业全自动晶圆精密磨抛机(量产 4/6/8 寸硅片)两大类,价格差异极大,分开报价:
一、实验室台式硅片试样磨抛机(检测、切片制样)
1. Alpha-100 单盘手动磨抛机
适用:小尺寸硅片、半导体试样、金相切片;单盘 φ203,无级调速、水冷冷却
批发报价:3160 元 / 台(1 台起批,东莞现货)
2. GP-2A 双盘精密磨抛机
适用:批量硅片试样,双盘独立调速 50–1000rpm,带循环冷却
批发报价:17800 元 / 台
3. BMP-1BC 单盘自动加压磨抛机(适配晶元 / 薄硅片)
带自动磨头、定时、正反转,可夹持 4 寸以内硅片试样
参考报价:26000–32000 元 / 台(配置不同浮动)
4. OPT-380 三工位全自动精密研磨抛光机
大盘 φ381,最大处理 φ142mm 硅片,平面度≤0.002mm,高校 / 半导体实验室专用
参考报价:68000–85000 元 / 台(含工装夹具)
二、工业量产型硅片双面 / 单面磨抛机(4/6/8 寸晶圆量产)
用于硅片减薄、镜面抛光、去除损伤层,全自动带载片、压力数控,支持批量生产,中特非标定制机型:
1. 4 寸半自动单面硅片磨抛机:12–18 万元
2. 6 寸全自动双面研磨抛光机:35–52 万元
3. 8 寸数控精密晶圆 CMP 预抛机:75–110 万元
注:12 寸大硅片量产设备中特暂无量产机型,需外购配套产线设备。
三、价格影响因素
1. 用途区分:实验室制样机几千~几万;工业量产机几十万,价差 10 倍以上;
2. 硅片尺寸:4 寸最便宜,8 寸价格翻倍;
3. 自动化配置:手动<半自动<全自动加压 + 自动清洗;
4. 配套配件:硅片专用载具、金刚石磨盘、抛光液循环系统、洁净罩加价 5%–15%;
5. 采购量:1 台零售价上浮 10%,10 台以上批量可下浮 8%–15%。
四、补充说明
1. 线上标价仅为裸机基础价,不含硅片专用工装、上门安装调试、一年质保耗材套餐;
2. 半导体洁净车间使用机型可升级防尘、防静电、纯水循环系统,额外加价;
3. 如需精准落地报价,需提供:硅片尺寸(4/6/8 寸)、日产能、单面 / 双面抛光、洁净等级需求,中特精密可出具正式报价单。