微分干涉显微镜原理:
在现代显微镜观察检验方法中 , 尤其在工业显微镜应用领域,除了常规的明视场BF(Bright field)和暗视场
DF(Dark field)观察方法, 微分干涉相衬观察法 (DIC:Differential interference contrast) 作为一种新兴的观察
检验方法 , 作为检验观察的一种强有力的工具 , 越来越多的被使用。尤其随着微电子,平板显示行业的快速发展
,微分干涉观察法甚至成为某些制程,比如位错检查,导电粒子压合,硬盘制造检测的关键手段。
其特点主要为 :
(1) 对金相样品的制备要求降低 , 对于某些样品 ,甚至只需抛光而不必腐蚀处理即可进行观察。优点是可以观
察到样品表 面的真实状态 ,如将试样抛光后在真空下发生马氏体相变 ,不用腐蚀就可以观察到马氏体的相变浮凸 ;
(2) 所观察到的表面具有明显的凹凸感 ,呈浮雕状 ,样品各组成相间的相对层次关系都能显示出来 ,对颗粒、裂
纹、孔洞以及凸起等都能作出正确的判断 ,提高了检验准确性 ,同时也增加了各相间的反差 ;
(3) 用微分干涉相衬法观察样品 ,会看到明场下所看不到的许多细节 ,明场下难于判别的一些结构细节或缺陷
,可通过微分干涉进行反差增强而容易判断 ;
(4) 微分干涉相衬法基于传统的正交偏光法 ,又巧妙地利用了在渥拉斯顿棱镜基础上改良的诺曼斯基DIC 棱镜 ,
使所观察的样品以光学干涉的方法染上丰富的色彩 ,便于观察。
微分干涉相衬观察法——
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